光刻機

光刻機

光刻機是用來制造芯片的。光刻機又被叫作掩膜對準曝光機,在芯片生產中用以光刻工藝,而光刻工藝又是生產流程中最關鍵的一步,所以光刻機又是芯片生產中不可缺失的裝置。以我國現在的實力當然有能力生產光刻機。不過,目前中國能夠量產的光刻機性能最好的是90nm光刻機,和荷蘭ASML公司最先進的5nm光刻機仍具有極大的區(qū)別。

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